上料
最大可搭载12”(英吋)晶圆环子弹匣上料 (上料平台向下兼容8”/6” 晶圆环子弹匣) ,
排片下料
可选配8”自动晶圆环平台,或Waffle Tray 托盘用以放入多个 Waffle料盒排放晶元